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服务案例

投资者提问:请问上海精测半导体为中芯国际制造的12寸独立式光学线宽测量设备...

请问上海精测半导体为中芯国际制造的12寸独立式光学线宽测量设备(OCD)与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备(Review SEM)使用情况如何?有没有后续订单?

董秘回答(精测电子SZ300567):

您好!公司7月份出机中芯国际的半导体检测设备为12寸独立式光学线宽测量设备(OCD)与12寸全自动电子束晶圆缺陷复查设备目前处在装机调试中。感谢您对公司的关注,谢谢!

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